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鑫鐳真空技術(shù)（東莞）有限公司


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SRS-500-U型自動進(jìn)料PVD鍍膜機 科研實驗用多靶位磁控濺射機

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更新時間：2023-08-03 17:28:23瀏覽次數(shù)：273次

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產(chǎn)品簡介

主要特點：大抽速真空系統(tǒng)，即插即用快捷方便；最多5個獨立磁控濺射靶位可輕松切換功能，快速制作多層金屬和反應(yīng)介質(zhì)膜；預(yù)設(shè)參數(shù)全自動進(jìn)料和鍍膜沉積無需人工干預(yù)；自動樣品裝載系統(tǒng)減少污染和無效參雜并提高鍍膜效率

詳細(xì)介紹

主要特點：

  • 大抽速真空系統(tǒng)，即插即用快捷方便；
  • 最多5個獨立磁控濺射靶位可輕松切換功能，快速制作多層金屬和反應(yīng)介質(zhì)膜；
  • 預(yù)設(shè)參數(shù)全自動進(jìn)料和鍍膜沉積無需人工干預(yù)；
  • 自動樣品裝載系統(tǒng)減少污染和無效參雜并提高鍍膜效率。
  • 配備直流和射頻源，可實現(xiàn)多種膜層工藝要求。
  • 選配離子束輔助沉積系統(tǒng)，提高膜層致密性和附著力。

應(yīng)用領(lǐng)域：

  • 金屬和介電膜
  • 薄膜傳感器的制造
  • 光學(xué)元件
  • 納米與微電子
  • 太陽能電池

主要功能配置說明：

  • Φ500mm*450mm(h)圓形不銹鋼腔室。
  • 700L/s渦輪分子泵+雙級旋片泵真空泵組。
  • 全量程復(fù)合真空計，自動控制不同工藝壓力。
  • 電動壓控插板閥全程壓力自動控制。
  • 3英寸濺射靶，可同時濺射多種材料。
  • 配準(zhǔn)備DC電源和RF電源更利于濺射多種金屬和介質(zhì)膜層。
  • 3路MFC精密氣體流量控制系統(tǒng)，便于鍍制多種反應(yīng)膜層。
  • 石英晶體監(jiān)測系統(tǒng)可實時監(jiān)控多層鍍膜厚度和工藝過程。
  • 斜拉伸縮式觸控屏可預(yù)設(shè)控制沉積過程和快速數(shù)據(jù)輸入。
  • 自動進(jìn)料系統(tǒng)更便于預(yù)制樣品和過程控制。
  • 一鍵式全自動鍍膜系統(tǒng)，無需人工干預(yù)，便于過程控制。
  • 精密溫控系統(tǒng)和基片前后加熱裝置可精確控制控基片＞800°C。
  • 伸縮式基片掛架，可輕松調(diào)節(jié)濺射距離和切換公自轉(zhuǎn)模式。
  • 自動腔體外包圍環(huán)繞冷卻系統(tǒng)，避免高溫鍍膜時腔室壁溫度過高。

 

  • 更多PVD系統(tǒng)工藝說明可查閱本站點解決方案目錄：/jjfa

鑫鐳真空專業(yè)為科研項目和企業(yè)制作用于薄膜材料實驗的小型多靶濺射PVD系統(tǒng)，提供各種真空鍍膜工藝設(shè)備搭配定制、鍍膜機機的全系統(tǒng)整合、升級和專用系統(tǒng)定制以及真空設(shè)備整機維修、安裝等服務(wù)。質(zhì)量可靠，提供多個案列參考。

 

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