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當(dāng)前位置：北京中科復(fù)華科技有限公司>>產(chǎn)品展示>>刻蝕設(shè)備>>反應(yīng)離子刻蝕
反應(yīng)離子腐蝕技術(shù)是一種各向異性很強(qiáng)、選擇性高的干法腐蝕技術(shù)。它是在真空系統(tǒng)中利用分子氣體等離子來(lái)進(jìn)行刻蝕的，利用了離子誘導(dǎo)化學(xué)反應(yīng)來(lái)實(shí)現(xiàn)各向異性刻蝕，即是利用離...
SENTECH儀器（德國(guó)）有限公司是國(guó)際主流的半導(dǎo)體設(shè)備商，研發(fā)、制造和銷(xiāo)售的薄膜測(cè)量?jī)x器PECVD和等離子工藝設(shè)備.
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