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感應(yīng)耦合等離子體刻蝕系統(tǒng)利用射頻天線,通過感應(yīng)耦合方式在放電腔中產(chǎn)生高密度等離子體,同時刻蝕工作臺引入射頻偏壓,射頻偏壓作用下,等離子體中垂直向下對被刻蝕材料表...
SENTECH感應(yīng)耦合等離子刻蝕機SI 500是一款由SENTECH(德國)公司研發(fā)并生產(chǎn)的電感耦合等離子體(ICP)干法刻蝕系統(tǒng)。該產(chǎn)品以其高精度、低損傷、高...
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