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當(dāng)前位置：北京中科復(fù)華科技有限公司>>產(chǎn)品展示>>刻蝕設(shè)備>>感應(yīng)耦合等離子刻蝕
感應(yīng)耦合等離子體刻蝕系統(tǒng)利用射頻天線，通過感應(yīng)耦合方式在放電腔中產(chǎn)生高密度等離子體，同時(shí)刻蝕工作臺(tái)引入射頻偏壓，射頻偏壓作用下，等離子體中垂直向下對(duì)被刻蝕材料表...
SENTECH感應(yīng)耦合等離子刻蝕機(jī)SI 500是一款由SENTECH（德國）公司研發(fā)并生產(chǎn)的電感耦合等離子體（ICP）干法刻蝕系統(tǒng)。該產(chǎn)品以其高精度、低損傷、高...
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