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北京中科復(fù)華科技有限公司是一家致力于為半導(dǎo)體領(lǐng)域和微納米科學領(lǐng)域提供綜合性解決方案，為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的半導(dǎo)體設(shè)備儀器和微納米科學儀器，擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)過硬的技術(shù)團隊。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務(wù)。未來公司將不斷和引進在微納米科學領(lǐng)域中起重要作用的新儀器和新產(chǎn)品，同時也與全國各所的大學、學院和科研院所建立了良好的合作關(guān)系，致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作， 為中國的教育與科研事業(yè)在廣范圍、高層次上提供服務(wù)。
| 產(chǎn)地 | 進口 |
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PhableR具備以低成本光刻系統(tǒng)曝光高分辨率周期性結(jié)構(gòu)的能力。它類似于傳統(tǒng)的紫外曝光機，將涂有光刻膠的晶圓接近掩模版，然后用一束紫外深紫外光照射。由于Eulitha的突破性PHABLE曝光技術(shù)，分辨率不再受到不希望出現(xiàn)的衍射效應(yīng)的限制。如亞微米周期線性光柵和二維圖案等結(jié)構(gòu)(如六方和四方晶格曝光)，均具有高均勻性和保真度。
PhableR 100 DUV光刻機是一款針對科研和研發(fā)的基礎(chǔ)手動機臺。對于納米周期性結(jié)構(gòu)，不需要復(fù)雜的工藝過程或經(jīng)驗，就可以制作大面積，均勻性和重復(fù)性好的一維、二維光柵結(jié)構(gòu)。有關(guān)設(shè)備和服務(wù)的一些特點：
1. 設(shè)備操作簡單
2. 與前后道工藝和配套設(shè)備兼容性性好
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應(yīng)用廣泛，包括:
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