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德國 SENTECH RIE等離子刻蝕機

參考價	￥ 10
訂貨量	≥1件

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱北京中科復華科技有限公司
品牌其他品牌
型號Etchlab 20
所在地北京市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時間2025/5/15 16:51:25
訪問次數(shù)111

產(chǎn)品標簽:

等離子刻蝕反應(yīng)離子刻蝕

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公司介紹主營產(chǎn)品

北京中科復華科技有限公司是一家致力于為半導體領(lǐng)域和微納米科學領(lǐng)域提供綜合性解決方案，為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供的半導體設(shè)備儀器和微納米科學儀器，擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)過硬的技術(shù)團隊。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務(wù)。未來公司將不斷和引進在微納米科學領(lǐng)域中起重要作用的新儀器和新產(chǎn)品，同時也與全國各所的大學、學院和科研院所建立了良好的合作關(guān)系，致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作，為中國的教育與科研事業(yè)在廣范圍、高層次上提供服務(wù)。

展開顯示更多內(nèi)容

電子束曝光系統(tǒng)，刻蝕設(shè)備，鍍膜設(shè)備，光刻機，半導體工藝設(shè)備

產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)地	進口

SENTECH儀器（德國）有限公司是國際主流的半導體設(shè)備商，研發(fā)、制造和銷售的薄膜測量儀器PECVD和等離子工藝設(shè)備.

德國 SENTECH RIE等離子刻蝕機產(chǎn)品信息

低成本效益高

RIE等離子蝕刻機Etchlab 200結(jié)合平行板等離子體源設(shè)計與直接置片。

升級擴展性

根據(jù)其模塊化設(shè)計，等離子蝕刻機Etchlab 200可升級為更大的真空泵組，預(yù)真空室和更多的氣路。

SENTECH控制軟件

該等離子刻蝕機配備了用戶友好的強大軟件，具有模擬圖形用戶界面，參數(shù)窗口，工藝編輯窗口，數(shù)據(jù)記錄和用戶管理。

Etchlab 200 RIE等離子刻蝕機代表了直接置片等離子刻蝕機家族，它結(jié)合了RIE的平行板電極設(shè)計和直接置片的成本效益設(shè)計的優(yōu)點。Etchlab 200的特征是簡單和快速的樣品加載，從零件到直徑為200mm或300mm的晶片直接加載到電極或載片器上。靈活性、模塊性和占地面積小是Etchlab 200 的設(shè)計特點。位于頂部電極和反應(yīng)腔體的診斷窗口可以方便地容納SENTECH激光干涉儀或OES和RGA系統(tǒng)。橢偏儀端口可用于SENTECH原位橢偏儀進行原位監(jiān)測。

Etchlab 200等離子蝕刻機可以配置成用于刻蝕直接加載的材料，包括但不限于硅和硅化合物，化合物半導體，介質(zhì)和金屬。

Etchlab 200通過的SENTECH控制軟件操作，使用遠程現(xiàn)場總線技術(shù)和用戶友好的通用用戶界面。

Etchlab 200：