ZML10A是一款創(chuàng)新的桌面級(jí)無掩膜光刻設(shè)備，專為高效、精準(zhǔn)的微納加工需求設(shè)計(jì)。該設(shè)備采用高功率、高均勻度的LED光源，并結(jié)合的DLP技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了黃光或綠光引導(dǎo)曝光功能，真正做到“所見即所得”，極大提升了操作便捷性和工藝可控性。它的光路結(jié)構(gòu)和高精度直線電機(jī)位移臺(tái)確保了曝光精度和重復(fù)定位能力，同時(shí)配備CCD相機(jī)逐場(chǎng)自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)，進(jìn)一步優(yōu)化了成像質(zhì)量和工藝穩(wěn)定性。設(shè)備支持電動(dòng)物鏡切換和激光主動(dòng)對(duì)焦功能，能夠靈活應(yīng)對(duì)不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求。其緊湊的桌面小型化設(shè)計(jì)不僅節(jié)省空間，還便于在實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)環(huán)境中部署。此外，ZML10A配備了直觀易用的軟件界面，大幅降低了操作門檻，即使是初學(xué)者也能快速上手。無論是超材料結(jié)構(gòu)、電極圖案還是微流控芯片等復(fù)雜微納結(jié)構(gòu)的制備，ZML10A都能提供可靠的支持，是科研工作者和工業(yè)用戶的理想選擇。
• 技術(shù)特點(diǎn)
▲ 桌面小型化
▲ 高功率、高均勻度LED刻寫光源
▲ 黃光/綠光引導(dǎo)曝光，所見即所得
▲ CCD相機(jī)逐場(chǎng)圖像自動(dòng)對(duì)焦
▲ 高精度直線電機(jī)位移臺(tái)
▲ 易于操作的軟件界面
• 光路遠(yuǎn)離結(jié)構(gòu)圖
• 主要指標(biāo)
| 關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo) | ||
| 紫外光源中心波長 | 405nm | |
| 曝光均勻度 | 90% | |
| 最小特征線寬 | 0.5um | |
| 單次寫場(chǎng)曝光面積 | 0.6*0.4mm（@0.5um） | |
| 刻寫速率 | 3mm^2/min(@0.5um) | |
| 配置 | 基礎(chǔ)版 | 專業(yè)版 |
| 光源 | 強(qiáng)光LED：405nm | |
| DMD芯片 | DLP6500 | |
| 單場(chǎng)曝光面積 | 0.6*0.4mm（@0.5um）、1.2*0.8mm（@0.8um） 2.4*1.6mm（@1.5um）、12*8mm（@8um） | |
| 相機(jī) | 大靶面顯微相機(jī)（支持尺寸測(cè)量） | |
| 套刻精度 | 1um | 0.7um |
| 刻寫速度 | 3mm2/min(@0.5um) | 20mm2/min(@0.5um) |
| 運(yùn)動(dòng)臺(tái) | 高精度直線電機(jī)（重復(fù)定位精度±0.5um）調(diào)平機(jī)構(gòu)、手動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái) | 高精度直線電機(jī)（重復(fù)定位精度±0.5um）調(diào)平機(jī)構(gòu)、電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái) |
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 手動(dòng)物鏡切換 | 電動(dòng)物鏡切換 |
| 對(duì)焦模組 | CCD圖像自動(dòng)對(duì)焦 | 激光主動(dòng)對(duì)焦 |
| 支持硅片尺寸 | 4inch | 8inch |
應(yīng)用案例
