一、非ODS清洗技術(shù)

　　到目前為止，LCD行業(yè)已有15家企業(yè)參與了《中國清洗行業(yè)ODS整體淘汰計劃》，并獲得多邊基會贈款。其中已有10家企業(yè)的替代設(shè)備投入運(yùn)行。但仍有少數(shù)LCD廠繼續(xù)使用CFC-113及TCA。部分已淘汰ODS清洗劑的企業(yè)也面臨進(jìn)一步優(yōu)選工藝、設(shè)備及非ODS清洗劑，以便提高LCD清洗品質(zhì)及效益的問題。以下討論LCD行業(yè)非ODS清洗技術(shù)的現(xiàn)狀。

二、非ODS清洗劑及其工藝路線的選擇

　　適用于LCD行業(yè)的非ODS清洗劑有水基、半水基和溶劑型三種, 水基、半水基清洗劑適用于超聲水洗工藝路線，溶劑型清洗劑適用于氣相超聲清洗工藝路線。表1列舉了各種清洗技術(shù)的比較,表2列舉了部分溶劑型HCFC和 HFC等替代物的基本物化性能指標(biāo)。

　　水基、半水基及溶劑型三種替代清洗劑中，水基清洗劑的清洗速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)不及溶劑和半水基型清洗劑。其原因有二：一是水基清洗劑去除LCD殘留液晶以表面活性劑與液晶的乳化作用為主，乳化對超聲波的依賴性較大；二是水的表面張力比溶劑大，對狹縫的濕潤性能較差。而表面張力較低的半水基和溶劑型清洗劑與液晶是一種溶解作用。

　　可用于直接替代CFC-113氣相清洗劑的溶劑型清洗劑包括HCFC、HFC、n-PB、HFE、低沸點碳?xì)浠衔锛捌浜跹苌?。其中HCFC類如HCFC141b、HCFC225,因ODP值不等于0，為過渡性替代物;n-PB等鹵代烴在有水存在時對ITO具有較大的腐蝕性,而且n-PB的毒性至今尚無定論；HFC及HFE類的優(yōu)點是ODP等于0，但價格昂貴，且HFC4310具有*的GWP值，低沸點的碳?xì)浠衔锛捌浜跹苌飠ui大的問題是易燃易爆，使用該類清洗劑必須采用有防爆功能的清洗設(shè)備。

　　基于上述水基清洗劑的清洗效力較低和溶劑型清洗劑的諸多問題。國內(nèi)外絕大部分LCD企業(yè)采用半水基清洗劑作為CFC-113的替代物，使用閃點大于等于61℃碳?xì)浠衔锛缺ＷC了清洗劑在使用、存儲和運(yùn)輸過程中的安全性,又利用碳?xì)浠衔锱c液晶的互溶性,較快的清洗殘留液晶,并輔以表面活性劑經(jīng)多道水漂洗,可以滿足LCD行業(yè)對清洗的品質(zhì)和效率越來越高的要求。