干式螺桿真空泵，它利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設備。它的優(yōu)勢彌補了油封式真空泵的不足，我們都稱之為油封式真空泵的升級版。但是干式螺桿真空泵的造價也是它的不足之處。接下來主要介紹它的優(yōu)點和缺點：
　　
　　干式螺桿真空泵優(yōu)點：
　　
　　1、工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應惡劣工況2、氣體在泵內(nèi)無壓縮，適宜抽取可凝性氣體
　　
　　3、不耗油,無滴漏
　　
　　4、結(jié)構(gòu)簡單，維護方便。
　　
　　5、被抽氣體直接排出泵體，不污染水，無環(huán)保壓力，氣體回收更便捷。
　　
　　干式螺桿真空泵缺點：
　　
　　1、由于螺桿泵加工難度大，我國使用的螺桿泵主要依靠進口，價格非常昂貴。
　　
　　2、不適于抽除含有爆炸性的氣體。
　　
　　3、不適于抽除含氧過高的氣體。
　　
　　隨著我國工業(yè)界的發(fā)展，在半導體工業(yè)、液晶顯示器等工藝制造中，對清潔真空環(huán)境的要求越來越高，而傳統(tǒng)的有油真空泵已經(jīng)達不到這樣的要求了。螺桿型干式真空泵以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點，得到越來越多制造和應用單位的重視，在干式真空泵市場中占有重要的地位。在歐美和日本等發(fā)達國家，螺桿型干式真空泵在很多領(lǐng)域已經(jīng)越來越多的代替了傳統(tǒng)的有油泵。
　　
　　ZNLU-50NF3J2L2E1,ZNLU-50NF3J2L2E2,ZNLU-50NF3J2L2T1,ZNLU-50NF3J2L2T2,
　　
　　ZNLU-50NF3J2L2P1,ZNLU-50NF3J2L2P2,ZNLU-50NF3J2L293,ZNLU-50NF3J2L2D1,
　　
　　ZNLU-50NF3J2L2B1,ZNLU-50NF3J2L2B2,ZNLU-50NF3J2L2T3,ZNLU-50NF3J2L2D2,
　　
　　ZNLU-50NF3J3L1E1,ZNLU-50NF3J3L1E2,ZNLU-50NF3J3L1T1,ZNLU-50NF3J3L1T2,
　　
　　ZNLU-50NF3J3L1P1,ZNLU-50NF3J3L1P2,ZNLU-50NF3J3L193,ZNLU-50NF3J3L1D1,
　　
　　ZNLU-50NF3J3L1B1,ZNLU-50NF3J3L1B2,ZNLU-50NF3J3L1T3,ZNLU-50NF3J3L1D2,
　　
　　ZNLU-50NF3J3L2E1,ZNLU-50NF3J3L2E2,ZNLU-50NF3J3L2T1,ZNLU-50NF3J3L2T2,
　　
　　ZNLU-50NF3J3L2P1,ZNLU-50NF3J3L2P2,ZNLU-50NF3J3L293,ZNLU-50NF3J3L2D1,