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西安新敏電子科技有限公司作者
擴(kuò)散硅壓力變送器在高壓環(huán)境下的可靠性主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：
高靈敏度：擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50～80倍，它的滿量程信號(hào)輸出在80-100mv左右。由于它輸入激勵(lì)電壓低，輸出信號(hào)大，且無(wú)機(jī)械動(dòng)件損耗，因而分辨率。
高可靠性：擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級(jí)，膜片最大位移量在來(lái)微米數(shù)量級(jí)，且無(wú)機(jī)械磨損，無(wú)疲勞，無(wú)老化。平均時(shí)間長(zhǎng)，性能穩(wěn)定，可靠性高。
高精度：擴(kuò)散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測(cè)三位一體，無(wú)機(jī)械動(dòng)件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以不重復(fù)性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好萊塢，形變小，因而傳感器的線性也非常好。因此綜合表態(tài)精度很高。
高抗電擊穿性能：由于采用了特殊材料和裝配工藝，擴(kuò)散硅傳感器不但可以做到130°C正常使用，在強(qiáng)磁場(chǎng)、高電壓擊穿試驗(yàn)中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊壓力變送器。
耐腐蝕性好：由于擴(kuò)散硅材料本身優(yōu)良的化學(xué)防腐性能好，即使傳感器受壓面不隔離，出能在普通使用中適應(yīng)各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔離時(shí)結(jié)構(gòu)工藝更易于實(shí)現(xiàn)。
綜上所述，擴(kuò)散硅壓力變送器在高壓環(huán)境下的可靠性較高，能夠滿足各種復(fù)雜工控環(huán)境下對(duì)壓力的檢測(cè)需求。
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