西安新敏電子科技有限公司作者
擴(kuò)散硅壓力變送器在高壓環(huán)境下的可靠性主要體現(xiàn)在以下幾個方面:
高靈敏度:擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50~80倍,它的滿量程信號輸出在80-100mv左右。由于它輸入激勵電壓低,輸出信號大,且無機(jī)械動件損耗,因而分辨率。
高可靠性:擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級,膜片最大位移量在來微米數(shù)量級,且無機(jī)械磨損,無疲勞,無老化。平均時間長,性能穩(wěn)定,可靠性高。
高精度:擴(kuò)散硅壓力傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三位一體,無機(jī)械動件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),所以不重復(fù)性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好萊塢,形變小,因而傳感器的線性也非常好。因此綜合表態(tài)精度很高。
高抗電擊穿性能:由于采用了特殊材料和裝配工藝,擴(kuò)散硅傳感器不但可以做到130°C正常使用,在強(qiáng)磁場、高電壓擊穿試驗中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊壓力變送器。
耐腐蝕性好:由于擴(kuò)散硅材料本身優(yōu)良的化學(xué)防腐性能好,即使傳感器受壓面不隔離,出能在普通使用中適應(yīng)各種介質(zhì)。硅材料又與硅油有良好的兼容性,使它在采用防腐材料隔離時結(jié)構(gòu)工藝更易于實現(xiàn)。
綜上所述,擴(kuò)散硅壓力變送器在高壓環(huán)境下的可靠性較高,能夠滿足各種復(fù)雜工控環(huán)境下對壓力的檢測需求。

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