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XYZ光纖耦合平臺

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更新時間：2025-03-18 12:42:16瀏覽次數(shù)：111次

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蘇州普諾邁自動化有限公司

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產品簡介

XYZ均采用直線電機及高精度交叉滾柱導軌XYZ內置高精度絕dui值光柵尺，1nm光柵分辨率，重復定位精度≤±100nm，絕dui定位精度（位置誤差補償后）≤±350nm；配套專用高精度控制器，實現(xiàn)靜態(tài)抖動（jitter）值≤±25nm，讓耦合更穩(wěn)定；高速尋光，每軸速度≥350mm/s,加速度≥1g，讓找光、尋光更快，效率更高

詳細介紹

XYZ均采用直線電機及高精度交叉滾柱導軌 XYZ內置高精度絕dui值光柵尺，1nm光柵分辨率，重復定位精度≤±100nm，絕dui定位精度（位置誤差補償后）≤±350nm；配套專用高精度控制器，實現(xiàn)靜態(tài)抖動（jitter）值≤±25nm，讓耦合更穩(wěn)定；高速尋光，每軸速度≥350mm/s,加速度≥1g，讓找光、尋光更快，效率更高。