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單片晶圓濕式工藝設(shè)備

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠(chǎng)商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時(shí)間：2025-02-03 10:45:43瀏覽次數(shù)：111次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

采用單片晶圓濕式工藝設(shè)備，適用于2-6晶圓、4-8晶圓、8-12晶圓

詳細(xì)介紹

采用單片晶圓濕式工藝設(shè)備，適用于2"-6"晶圓、4″- 8″晶圓、8″- 12″晶圓。

  • 工藝過(guò)程可編程，適應(yīng)于晶圓最終清洗、投片前清洗、晶圓刻蝕等不同工藝

  • 可對(duì)正面及背面同時(shí)進(jìn)行清洗或腐蝕

  • 采用雙手指機(jī)械臂傳送晶圓

  • 采用雙面無(wú)基礎(chǔ)清洗載物臺(tái)

  • 配備雙面PVA刷洗功能

  • 配備藥液控溫單元

  • 配備自動(dòng)配藥單元

  • 可選配兆聲單元

  • 可選配自動(dòng)滅火單元

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