顯微分光膜厚儀

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號OPTM 系列

品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地北京市

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：市場部查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-04-12 12:29:07瀏覽次數(shù)：371次

聯(lián)系我時，請告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  光電測試

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

北京卓立漢光儀器有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：400條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：市場部

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

OPTM 系列顯微分光膜厚儀使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過反射率進行測量，可進行高精度膜厚度/光學常數(shù)分析。可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。測量時間上，能達到1秒/點的高速測量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學常數(shù)的軟件。

詳細介紹

產(chǎn)品概述

OPTM 系列顯微分光膜厚儀
頭部集成了薄膜厚度測量所需功能

通過顯微光譜法測量高精度反射率（多層膜厚度，光學常數(shù)）

1點1秒高速測量

顯微分光下廣范圍的光學系統(tǒng)（紫外至近紅外）

區(qū)域傳感器的安全機制

易于分析向?qū)?，初學者也能夠進行光學常數(shù)分析

獨立測量頭對應各種inline客制化需求

支持各種自定義

OPTM 系列顯微分光膜厚儀選型表

OPTM-A1	OPTM-A2	OPTM-A3
波長范圍	230 ~ 800 nm	360 ~ 1100 nm	900 ~ 1600 nm
膜厚范圍	1nm ~ 35μm	7nm ~ 49μm	16nm ~ 92μm
測定時間	1秒 / 1點
光斑大小	10μm (*小約5μm)
感光元件	CCD		InGaAs
光源規(guī)格	氘燈+鹵素燈		鹵素燈
電源規(guī)格	AC100V±10V 750VA（自動樣品臺規(guī)格）
尺寸	555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規(guī)格之主體部分)
重量	約 55kg（自動樣品臺規(guī)格之主體部分）

測量項目：

反射率測量

多層膜解析

光學常數(shù)分析（n：折射率，k：消光系數(shù)）

測量示例：SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測量

半導體晶體管通過控制電流的導通狀態(tài)來發(fā)送信號，但是為了防止電流泄漏和另一個晶體管的電流流過任意路徑，有必要隔離晶體管，埋入絕緣膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜，或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。為了絕緣膜的性能和精確的工藝控制，有必要測量這些膜厚度。