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SENTECH-激光橢偏儀 - (SE 400adv)

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產(chǎn)品型號(hào)SE 400adv

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更新時(shí)間：2024-02-14 14:59:06瀏覽次數(shù)：305次

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上海德竹芯源科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

激光橢偏儀 SE 400adv 測(cè)量透明薄膜的厚度和折射率指數(shù)，具有測(cè)量速度、亞埃級(jí)別的厚度精度和折射率測(cè)定的精度。多角度測(cè)量允許使用激光橢偏儀 SE 400adv 表征吸收膜特征。

詳細(xì)介紹

亞埃精度

● 穩(wěn)定的氦氖激光器保證了 0.1 埃精度的超薄單層薄膜厚度測(cè)量。

擴(kuò)展激光橢偏儀的極限

● 性能優(yōu)異的多角度手動(dòng)角度計(jì)和角度精度的激光橢偏儀允許測(cè)量單層薄膜和層疊膜的折射率、消光系數(shù)和膜厚。

高速測(cè)量

● 激光橢偏儀 SE 400adv 的高速測(cè)量速度使得用戶可以監(jiān)控單層薄膜的生長和終點(diǎn)檢測(cè)，或做樣品均勻性的自動(dòng)掃描。

● 激光橢偏儀 SE 400adv 可用于從可選擇的、應(yīng)用特定的入射角度表征單層薄膜和基片。自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡確保在大多數(shù)平坦反射表面的吸收或透明襯底上進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。多角度測(cè)量的集成支持(40°—90°，5° 步進(jìn))，可用于確定層疊的厚度、折射率和消光系數(shù)。為了補(bǔ)償激光橢偏測(cè)量中厚度測(cè)量的模糊性，厚度測(cè)量中也采用了多角度測(cè)量。

● 激光橢偏儀 SE 400adv，用于超薄單層薄膜的厚度測(cè)量。小型臺(tái)式儀器由橢偏儀光學(xué)部件、角度計(jì)、樣品臺(tái)、自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡、氦氖激光光源和檢測(cè)單元組成。激光橢偏儀 SE 400adv 的選項(xiàng)支持在微電子、光伏、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、顯示技術(shù)、生命科學(xué)、金屬加工等領(lǐng)域的應(yīng)用。