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美國 Entegris 英特格直通式氣體過濾器 WG3NS8RR2 全新

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美國Entegris英特格直通式氣體過濾器WG3NS8RR2全新美國Entegris英特格直通式氣體過濾器WG3NS8RR2全新為超純氣體系統(tǒng)過濾提供的微粒過濾，是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇

詳細(xì)介紹

美國 Entegris 英特格直通式氣體過濾器 WG3NS8RR2 全新

為超純氣體系統(tǒng)過濾提供的微粒過濾，是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇。

材料	濾芯	燒結(jié)鎳膜過濾器
	住房	電拋光 VAR316L 不銹鋼外殼
下游清潔度	粒子	<0.03><1>³） >0.01 μm
	揮發(fā)物	H ₂ O、O ₂和 THC 的揮發(fā)性脫氣低于檢測(cè)限（在室溫下通過 RGA 和 FID）
移除等級(jí)	≥0.0015 微米
表面飾面內(nèi)飾	≤5μin Ra
氦泄漏等級(jí)	合格的	2 × 10 ^-10 atm-cc/秒。
	已測(cè)試	1 × 10 ^-9 atm-cc/秒。
操作條件：	入口壓力	20°C (68oF) 時(shí)為 20 MPa（200 bar，2900 psid）
	設(shè)計(jì)壓力	20°C (68oF) 時(shí)為 20 MPa（200 bar，2900 psid）
	正向/反向壓差	1 兆帕（10 巴，150 磅/平方英寸）
	工作溫度	惰性氣體	400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
		腐蝕性和反應(yīng)性氣體	50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
保修單	5年
顆粒保留	在 15 slpm 時(shí)去除所有顆粒大于 99.9999999% (9 LRV)
流量等級(jí)	參考性能數(shù)據(jù)