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產(chǎn)品型號(hào)VC-DJR-150
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地長(zhǎng)沙市
聯(lián)系方式：胡經(jīng)理查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2024-06-05 11:40:06瀏覽次數(shù)：282次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線| 材質(zhì) | 鎳鉻 | 導(dǎo)熱系數(shù)（常溫） | 0.03 |
|---|---|---|---|
| 等級(jí) | A | 低溫彎折≤ | 90 |
| 斷裂伸長(zhǎng)率 | 800N/cm | 加工定制 | 是 |
| 抗彎強(qiáng)度 | 優(yōu) | 適用領(lǐng)域 | 半導(dǎo)體、電子 |
半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套：DIFF、ETCH、CVD、EPI部門，Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。
半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套的前因：
由于半導(dǎo)體生產(chǎn)常常需要使用各種化學(xué)氣體，這些氣體也會(huì)隨著工藝的過程，由真空泵從反應(yīng)腔體抽出，形成各種有毒有害的工藝尾氣，這些氣體如直接排到大氣中就會(huì)形成大氣污染。所以半導(dǎo)體生產(chǎn)廠家都需要對(duì)工藝設(shè)備尾氣進(jìn)行有效的處理，以減少對(duì)環(huán)境的污染。因此，在半導(dǎo)體制造機(jī)臺(tái)中，尾氣處理裝置是半導(dǎo)體加工中的BB工具。在等離子體干法刻蝕過程中，氣體供給口提供的氣體主要由Cl2、CF4、SF6、O2、He、BCl3等，經(jīng)過在真空反應(yīng)室內(nèi)的一系列反應(yīng)后，氣體排出口排出的尾氣主要包括TiClx、AlClx、MoClx、MoFx、SiO2。由于上述尾氣極易在室溫下結(jié)晶，因此尾氣處理過程中結(jié)晶體會(huì)附著在排氣管的管壁上，極易對(duì)排氣管進(jìn)行堵塞，同時(shí)造成排氣管的損傷。此過程會(huì)造成尾氣處理不CD，同時(shí)提高生產(chǎn)成本。
需要加熱馬甲的部門：
DIFF、ETCH、CVD、EPI部門，Pumping line和Pump exhaust管路需加裝加熱夾套。
加熱馬甲作用：
通過升高管路工作溫度，減少管內(nèi)介質(zhì)結(jié)晶，避免管路堵塞，減少PM周期，提高產(chǎn)能。
加熱馬甲溫度要求：
PVD：150°、170°（也有180°）
ETCH：80°-120°
半導(dǎo)體保溫管道電加熱夾套
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