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激光共聚焦顯微鏡VK-X200K

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形狀測(cè)量激光顯微系統(tǒng)VK-X100K/X200K性能特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì).的高分辨率大范圍形狀測(cè)量

詳細(xì)介紹

形狀測(cè)量激光顯微系統(tǒng) VK-X100K/X200K

性能特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)
.的高分辨率大范圍形狀測(cè)量，高分辨率，放大24000倍
.從光學(xué)觀察到類似于彩色SEM的高分辨率觀察，搭載了記錄像素?cái)?shù)量為2160萬像素的3CCD相機(jī)
.支持多種測(cè)量的便利功能
.AI-Scan功能，單擊測(cè)量開始按鈕便可實(shí)現(xiàn)
.對(duì)于拍攝到的圖像可自由測(cè)量
.兼顧高精度和簡(jiǎn)便性的進(jìn)化歷史（從激光顯微鏡，到形狀檢測(cè)激光顯微系統(tǒng)）

線粗糙度測(cè)量

可以一邊觀察2D或3D圖像。一邊避開頂點(diǎn)或異物，測(cè)量目標(biāo)部位的粗糙度

面粗糙度測(cè)量

從視覺上來講存在差異，那么差異究竟有多大呢？可以測(cè)量面的粗糙度，通過數(shù)值確認(rèn)平均化后的差異

（例）功能性薄的暗紋（3000倍）

樣本A：Ra1.5um 樣本B：Ra3.2um

以2個(gè)光源為基礎(chǔ)獲得必要信息

激光顯微鏡系統(tǒng)采用了“激光光源"和“白色光源"2路光源方式。通過這2個(gè)光源獲得構(gòu)建彩色全焦點(diǎn)圖像、激光全焦點(diǎn)圖像、高低圖像所必須的色彩、光量、高度的信息

通過短波長(zhǎng)激光檢測(cè)反射光量和高度

從激光顯微系統(tǒng)的激光光源發(fā)出的光線介入XY掃描光學(xué)系統(tǒng)、接物透聚光至對(duì)象物體上。聚光后的點(diǎn)光源通過XY掃描光學(xué)系統(tǒng)在光觀察視野內(nèi)進(jìn)行掃描，在觀察視野內(nèi)分割成1024*768像素運(yùn)行掃描，并由受光組建檢測(cè)個(gè)像素的反射光。將接物透鏡在Z軸方向上驅(qū)動(dòng)，反復(fù)運(yùn)行面掃描，獲得各像素的各Z軸位置處的反射光量。并將反射光量的Z軸位置設(shè)為焦點(diǎn)，檢測(cè)高度信息和反射光量。這樣便可以獲得整體對(duì)焦光量全焦點(diǎn)圖像和高低圖像（信息）

CCD攝像機(jī)獲得取顏色信息

使用彩色CCD攝像機(jī)檢測(cè)白光源的發(fā)射光。CCD攝像機(jī)在每個(gè)像素的基礎(chǔ)上，使用激光束獲取檢點(diǎn)位置的顏色信息，因此VK-X100/X200可以完成SEM無法實(shí)現(xiàn)的真彩觀察