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近年來(lái)，電子束設(shè)備的性能有了顯著提高，但另一方面，允許的磁場(chǎng)也越來(lái)越嚴(yán)格。主動(dòng)式磁屏蔽（磁場(chǎng)消除器）通過(guò)3軸磁場(chǎng)控制器以高靈敏度檢測(cè)干擾的波動(dòng)磁場(chǎng)，通過(guò)由XYZ 3軸組成的亥姆霍茲線圈產(chǎn)生抵消它的磁場(chǎng)，并抑制磁場(chǎng)線圈內(nèi)部的磁場(chǎng)波動(dòng)。用于控制和穩(wěn)定線圈的磁場(chǎng)發(fā)生器 通過(guò)引入該產(chǎn)品，即使在磁環(huán)境非常不穩(wěn)定的地方，也可以充分展示電子束設(shè)備的性能。
也可以將抵消線圈安裝在設(shè)備的框架上。半導(dǎo)體測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備無(wú)需占用大的安裝面積。
主要用途
?電子顯微鏡（TEM/SEM）
?電子束掩模寫(xiě)入器
?口罩檢查設(shè)備
?質(zhì)譜儀
?聚焦離子束（FIB）
