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壓電馬達(dá)，納米級(jí)位移臺(tái)

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壓電馬達(dá)，納米級(jí)位移臺(tái)

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壓電馬達(dá)簡(jiǎn)介：

不同于傳統(tǒng)的電磁馬迖，壓電馬迖是利用逆壓電效應(yīng)的原理，通過(guò)壓電陶瓷在電場(chǎng)作用下（一般在共振狀態(tài)下）的形變，由摩擦耦合推動(dòng)動(dòng)子的運(yùn)動(dòng)
由壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)一般把馬達(dá)安裝在基座，而動(dòng)子則是位移臺(tái)臺(tái)面的一部分，沒(méi)有傳統(tǒng)電磁馬迖（伺服或步進(jìn)電機(jī)）驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)所需的絲桿或蝸輪蝸桿組部件，是一個(gè)直接驅(qū)動(dòng)，沒(méi)有回程間隙的驅(qū)動(dòng)方式。由于壓電陶瓷的形變量極小，可迖到非常高的平臺(tái)位移精度，可以說(shuō)壓電馬迖驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)是名副其的納米位移臺(tái)