位于英國曼切斯特的Kratos公司是早生產商品化X射線光電子能譜儀的廠家之一，現(xiàn)在是大的分析儀器制造公司——島津公司的全資子公司。自1997年以來，島津/Kratos公司研發(fā)了包括的磁沉浸透鏡和的低能電子荷電中和系統(tǒng)等一系列新技術的新型光電子能譜儀——AXIS Ultra，并于2002年底推出了使用二維陣列檢測器——延遲線檢測器（Delay-Line Detector）的型AXIS Ultra DLD型XPS譜儀，2009年將X射線源的功率從450W提升到600W。2014年5月，Kratos公司再次隆重推出型的高度智能化的超高性能XPS譜儀——Axis Supra，并在短短的兩個月的時間內，成功地在范圍內銷售了10臺Axis Supra型XPS譜儀。

技術特點：

Axis Supra繼續(xù)采用大功率X光源和浸入式磁透鏡設計以獲取的檢測靈敏度，同時采用165mm大平均半徑的雙聚焦半球扇形能量分析器，可以獲得的XPS譜線能量分辨。在檢測器端，Axis Supra采用位于能量分析器出口中心位置上的第二代的二維陣列延遲線檢測器，可以同時記錄光電子的信號強度及其發(fā)射位置，亦可以在數(shù)秒的時間里獲取完整的XPS譜圖。

Axis Supra采用與靜電傳輸透鏡同軸的超低能單電子源荷電中和器，滿足各類絕緣樣品的XPS分析任務，尤其是對于表面凸凹不平的樣品（典型的是粉末樣品和斷口樣品），可以獲得的分析結果。

Axis Supra采用的球鏡半球能量分析器，獲得超高空間分辨的二維光電子圖像，亦即元素的不同化學狀態(tài)的二維分布。

Axis Supra使用的靜電傳輸透鏡內置的靜電偏轉裝置，可以利用光電子圖像在不移動樣品的情況下，獲得不同位置上的小束斑微區(qū)XPS譜。

Axis Supra標配單色化Al陽極，亦可選購單色化的Al/Ag雙陽極，并且單色化陽極靶可以更換多個新鮮靶點，極大地延長了陽極靶的使用壽命。

Axis Supra標配進樣室定位光學顯微鏡，可以在進樣預抽真空時定位多樣品的分析位置，然后轉入分析室實施自動分析。

關鍵詞：能譜儀光學顯微鏡

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