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MKS GE50A質(zhì)量流量控制器

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GE50A質(zhì)量流量控制器GE50A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合

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GE50A質(zhì)量流量控制器

GE50A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。

對(duì)于當(dāng)今市場(chǎng)上的質(zhì)量流量控制器，GE50A可作為直接替代的產(chǎn)品，標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使GE50A能夠直接進(jìn)行安裝而無(wú)需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1%。

技術(shù)參數(shù)：

全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。

控制量程：2% to 99%的全量程。

測(cè)量精度：全量程的1%

靈敏度：全量程的0.1%

熱機(jī)時(shí)間：小于2Min.

響應(yīng)速度：小于2Sec.

輸入電壓：±15VDC@100ma

輸出電壓：0-5VDC

連接器：模擬：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

數(shù)字：RS485或Device net或Profibus

法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等