HORIBA質(zhì)量流量控制器SEC-E40質(zhì)量流量計

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更新時間：2024-02-07 15:35:18瀏覽次數(shù)：275次

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深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

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HORIBA質(zhì)量流量控制器SEC-E40質(zhì)量流量計深圳天鉉真空技術(shù)有限公司所謂質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置

詳細介紹

HORIBA質(zhì)量流量控制器SEC-E40質(zhì)量流量計

深圳天鉉真空技術(shù)有限公司

所謂質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，必須對溫度和壓力進行調(diào)整。而質(zhì)量流量計在測定流體質(zhì)量的時候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行精確計測和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。

規(guī)格

技術(shù)規(guī)格

型號	SEC- (質(zhì)量流量控制器)	E40/E40MK3	E50/E50MK3
型號	SEF- (質(zhì)量流量計)	E40	E50
適用氣體種類*1		非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質(zhì)		SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號		非通電時關(guān)閉
標準流量量程 (N2相應F.S.)		10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范圍 (適于SEC系列)		2?99% F.S.
流量測量范圍 (適于SEF系列)		0?99% F.S.
響應速度		1秒以內(nèi)(T98)
流量精度		±1% F.S.
直線性		±0.5% F.S.
反復性		±0.2% F.S.
工作差壓值值 (適于SEC系列)		10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力 (適于SEF系列)		300kPa(G)以下
耐壓		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度		5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設定信號		0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?99% F.S.
流量輸出信號		0?5VDC(最小負荷電阻2kΩ)
驅(qū)動電源		+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2		1/4SWL 類型