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北京七星華創(chuàng)流量計(jì)有限公司


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CS200H質(zhì)量流量控制器&流量計(jì)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:李女士查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2022-11-03 16:12:24瀏覽次數(shù):180次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:18條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:李女士 (客服專員)

產(chǎn)品簡介

CS200H氣體質(zhì)量流量控制是七星流量計(jì)生產(chǎn)的數(shù)字型高溫產(chǎn)品,其電氣和機(jī)械部分采用分體式的設(shè)計(jì),通過高溫線纜連接,可以實(shí)現(xiàn)在高溫環(huán)境下工作,能夠滿足復(fù)雜多變的半導(dǎo)體測量需求。

詳細(xì)介紹

優(yōu)勢

• 控制器工作溫度:90~120℃。
• 高控制精度:產(chǎn)品精度可達(dá)±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
• 快速響應(yīng),響應(yīng)時(shí)間≤ 0.8sec。
• 采用恒功率傳感器原理,在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償,從根本上抑制了流量計(jì)的零漂現(xiàn)象,保證了傳感器線性。
• 產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術(shù),與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV,CS200產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)10RA以下,嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造。
• 支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字,模擬輸入輸出。
• 產(chǎn)品尺寸符合國際通用的SEMI標(biāo)準(zhǔn),RS485,DeviceNet通訊方式。

技術(shù)參數(shù)

CS200

型號(hào)

CS200-H

閥類型

常閉

流量規(guī)格(N2)

(0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30)  SLM

準(zhǔn)確度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(<35% F.S.)

線性

±0.5% F.S.

重復(fù)精度

±0.2% F.S.

響應(yīng)時(shí)間

≤ 1sec

工作壓差范圍

0.05~0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM
0.1~0.35MPa 流量規(guī)格>10SLM

<0.02 MPa

工作壓力

0.45MPa

溫度系數(shù)

零點(diǎn): ≤±0.1% F.S./℃;調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.1% F.S./℃

耐壓強(qiáng)度

3MPa

漏率

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

金屬密封

工作環(huán)境溫度

質(zhì)量流量控制器/流量計(jì):(90~120)℃;控制盒:(0~50)℃

輸入信號(hào)

數(shù)字: RS485 或 DeviceNet
模擬:(0~5)VDC或(4~20)mA

輸出信號(hào)

數(shù)字:RS485或 DeviceNet  
模擬:(0~5)VDC或(4~20)mA

零漂

在沒有零點(diǎn)校正時(shí)<0.6%F.S./年

電源

±8 ~ ±16 VDC (雙極)或 +14 ~ +28 VDC (單極)

表面化學(xué)成分

Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 (埃)

表面粗糙度

10 Ra

標(biāo)準(zhǔn)接頭形式

雙卡套φ6;雙卡套1/4;VCR1/4陽接頭;1.5´´C型密封接頭
1.5´´ W型密封接頭

電源接頭形式

D型9針陽接頭;D型15針陽接頭;DeviceNet接頭

連接高溫電纜

2m

重量

1.2Kg

1Kg

 

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