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球差場(chǎng)發(fā)射透射電子顯微鏡 HF5000

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200kV相差校正TEM/STEM,平衡了空間分辨率和傾斜、分析性能通過(guò)單極片實(shí)現(xiàn)0.078nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度、高立體角EDX

詳細(xì)介紹

200 kV相差校正TEM/STEM,平衡了空間分辨率和傾斜、分析性能

通過(guò)單極片實(shí)現(xiàn)0.078 nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度、高立體角EDX。

透射電子顯微鏡除了延續(xù)了日立公司配備的具有掃描透射電子顯微鏡“HD-2700"的球面像差校正器的功能、自動(dòng)校正功能,像差校正后的SEM圖像和對(duì)稱Dual SDD技術(shù)等特點(diǎn)。還融匯了透射電子顯微鏡HF系列中所積累的技術(shù)。

對(duì)于包括用戶在內(nèi)的廣泛用戶,我們提供亞?級(jí)空間分辨率和高分析性能以及更多樣化的觀察和分析方法。

球差場(chǎng)發(fā)射透射電子顯微鏡 HF5000

特點(diǎn):

標(biāo)配日立生產(chǎn)的照射系統(tǒng)球差校正器(附自動(dòng)校正功能)

搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場(chǎng)FE電子槍

鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機(jī)體的性能大幅度提升

觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時(shí)觀察原子分辨率SE圖像

采用側(cè)面放入樣品的新型樣品臺(tái)結(jié)構(gòu)以及樣品桿

支持高立體角EDX*的對(duì)稱配置(對(duì)稱Dual SDD*)

采用全新構(gòu)造的機(jī)體外殼蓋

配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿

選項(xiàng)

高輝度冷場(chǎng)FE電子槍×高穩(wěn)定性×日立制球面像差校正器

以長(zhǎng)年積累起來(lái)的高輝度冷場(chǎng)FE電子源技術(shù)為基礎(chǔ),進(jìn)行優(yōu)化,進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)電子槍的高度穩(wěn)定性。

此外,還更新了鏡體,電源系統(tǒng)和樣品臺(tái),以支持觀察亞?圖像,并提升了機(jī)械和電氣穩(wěn)定性,然后與日立公司的球差校正器結(jié)合使用。

不僅可以穩(wěn)定地獲得更高亮度更精密的探頭,而且自動(dòng)像差校正功能可以實(shí)現(xiàn)快速校正,從而易于發(fā)揮設(shè)備的固有性能。使像差校正可以更實(shí)用。

Si(211)單晶體HAADF-STEM圖像(左)和圖像強(qiáng)度曲線分布(右下)、FFT功率譜(右上)

支持高立體角EDX*的對(duì)稱Dual SDD*

支持雙重配置100 mm2 SDD檢測(cè)器,以實(shí)現(xiàn)更高的靈敏度和處理能力進(jìn)行EDX元素分析。

由于第二檢測(cè)器位于檢測(cè)器的對(duì)面位置,因此,幾乎不會(huì)因?yàn)闃悠穬A斜,導(dǎo)致X射線中的信號(hào)檢測(cè)量發(fā)生變化。所以,即使是結(jié)晶性樣品,也不用顧忌信號(hào)量,可按照樣品的方向與位置進(jìn)行元素分析。

此外,對(duì)于電子束敏感樣品、低X光輻射量的樣品,除了原子列映射,在低倍、廣視野的高精細(xì)映射等領(lǐng)域也極為有效。

GaAs(110)的原子柱EDX映射

像差校正SEM圖像/STEM圖像 同時(shí)觀察

配有標(biāo)配二次電子檢測(cè)器,可同時(shí)觀察像差校正SEM/STEM圖像。通過(guò)同時(shí)觀察樣品的表面和內(nèi)部結(jié)構(gòu),可以掌握樣品的三維構(gòu)造。

在像差校正SEM圖像中,除了可以通過(guò)校正球差來(lái)提高分辨率之外,還可以獲取更真實(shí)地樣品表面圖像。

Au/CeO2催化劑的SEM/ADF-/BF-STEM圖像(上段)和Au粒子的高分辨率圖像(下段)

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