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ZYGO 激光干涉儀:Verifire™ MST

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更新時間:2022-10-31 15:07:07瀏覽次數(shù):354次

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產(chǎn)品簡介

多表面測量VerifireMST激光干涉儀提供了一個的嶄新的測量方式和能力,傳統(tǒng)的激光干涉儀應(yīng)用是測量兩個面的波前變化,也就是說測量一個由兩個面所形成的腔

詳細介紹

多表面測量

  

Verifire™ MST激光干涉儀提供了一個的嶄新的測量方式和能力,傳統(tǒng)的激光干涉儀應(yīng)用是測量兩個面的波前變化,也就是說測量一個 由兩個面所形成的腔。

 

但是,如果所測量的是一個沒有經(jīng)過鍍膜的平行平板,則就會產(chǎn)生兩個疊加的干涉條紋(三個面的腔所形成),這樣就會干擾標準的位相干涉測量分析。

 

現(xiàn)在,ZYGO的Verifire™ MST激光干涉儀解決了這一個問題,通過波長調(diào)制技術(shù)和ZYGO新的傅立葉變換方法,可以進行三個甚至四個平行面的測量,不僅可以顯示所有的面,并且可以排除其他的面而單獨顯示你所需要的面。

                

三平面干涉測量 

                       

激光干涉儀可以在你的測量中,只要一次數(shù)據(jù)采集,就可以得到平行平板前表面和后表面的平面度,同時還能得到平行平板的光學厚度:

 

• 前表面形貌圖

 

• 光學厚度變化

 

• 物理厚度變化和后表面形變

  

四表面干涉測量

 

這一技術(shù)能夠通過兩次數(shù)據(jù)采集得到下列結(jié)果:

 

• 前表面和后表面的形貌圖

 

• 物理厚度變化

 

• 光學厚度變化

 

• 折射率變化

 

- 非線性材料均勻性

 

- 線性材料均勻性

 

多表面樣品測量快速、簡單和質(zhì)量提升

 

同時測量表面形變和光學厚度變化

 

平行平板兩側(cè)測量就可以得到其均勻性:

 

• 不需要涂油就可以進行安全、快速測量

 

• 兩次測量不需要進行調(diào)整

 

新型的線性材料均勻性測量

 

快速測量,只需要幾分鐘而不是幾個小時

 

 

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