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材料物理&材料制備系列DH-900DZX 箱式多弧磁控鍍膜機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

該鍍膜機(jī)可鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬,也可鍍制合金膜或化合物,也可在工件表面上鍍制單層或多層介質(zhì)膜或金屬ZrN、TiCN、TiAlN等硬質(zhì)或裝飾涂層,具有鍍膜速度快、膜層質(zhì)量好的優(yōu)點(diǎn)

詳細(xì)介紹

    該鍍膜機(jī)可鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬,也可鍍制合金膜或化合物,也可在工件表面上鍍制單層或多層介質(zhì)膜或金屬 ZrN、TiCNTiAlN 等硬質(zhì)或裝飾涂層,具有鍍膜速度快、膜層質(zhì)量好的優(yōu)點(diǎn)。

◆真空室:鍍膜室尺寸900mm×900mm×1000mm;箱式、前開門結(jié)構(gòu);

◆抽氣系統(tǒng):機(jī)械泵:前級(jí)泵70L/S;維持泵:2X-8旋片泵;羅茨泵:ZJP-150;

  擴(kuò)散泵:KT-500 ;分子泵: FF250/1600(選配);

◆極限真空:5×10-4Pa;恢復(fù)真空:5×10-3 Pa(小于20min);

◆鍍膜系統(tǒng):平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源;小弧源/柱弧源;

◆ 輔助鍍膜系統(tǒng):脈沖偏壓電源,條形離子源(選配);

◆ 膜厚測(cè)量系統(tǒng):石英晶體膜厚監(jiān)控系統(tǒng)(選配);

◆ 進(jìn)氣系統(tǒng):自動(dòng)壓強(qiáng)控制+多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng);

◆操作方式:手動(dòng)按鍵式;控制系統(tǒng)配置:研華工控機(jī),80G硬盤,512內(nèi)存+日本三菱PLC;10英寸液晶顯示觸   摸屏界面;

◆ 旋轉(zhuǎn)夾具:公轉(zhuǎn)/自轉(zhuǎn)夾具,速度從 015r/min 無(wú)級(jí)可調(diào);

◆ 工件烘烤:室溫~300℃;

◆ 供電電源三相380V,50Hz

◆ 特殊規(guī)格可定制。

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