表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器SURFACE

SFP-QⅥ型是新一代的表面顆粒檢測儀

表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器SURFACE

SFP-QⅥ型是新一代的表面顆粒檢測儀

優(yōu)點(diǎn)

即時(shí)測量表面微粒

通過減少產(chǎn)品中的顆粒來提高產(chǎn)量

通過快速識(shí)別粒子源最大限度地縮短故障排除時(shí)間

輕松解決塵埃顆粒附著關(guān)鍵表面或產(chǎn)品上，減少因塵埃顆粒引起的降低產(chǎn)量和影響產(chǎn)品可靠性的問題，節(jié)省時(shí)間和成本

用于測量各種高潔凈度要求的產(chǎn)品，光學(xué)鏡片組件、液晶面板及超凈微環(huán)境受控的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)等表面所附著的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內(nèi)的數(shù)量。本儀器的核心零部件（光學(xué)傳感器）及控制器等采用國內(nèi)高性能的組件來保證該產(chǎn)品的測量精度。本儀器外殼采用SUS304不銹鋼制作，并經(jīng)表面鈍化、電解處理。彩色觸摸液晶屏顯示操作，檢測光學(xué)傳感器采用國內(nèi)高精度傳感器，吸氣的氣泵為旋片式進(jìn)口氣泵，并可通過流量傳感器來自動(dòng)調(diào)節(jié)氣泵的運(yùn)行流量，使其保持在一個(gè)穩(wěn)定的檢測流量范圍內(nèi)，表面測試探頭根據(jù)德國同類產(chǎn)品進(jìn)行改良優(yōu)良，并配有防靜電軟管與主機(jī)連接，其于用排氣及吸氣過濾的囊式過濾器。內(nèi)部濾材為進(jìn)口，從而保證儀器的檢測精度及運(yùn)行穩(wěn)定性。表面粒子計(jì)數(shù)器由三部分組成：掃描取樣頭：取樣的同時(shí)可以提供一定壓力的吹掃氣流，可以集成操作控制器；激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器主機(jī)：主要由氣泵、傳感器、主控板、過濾器以及電池組成；連接主機(jī)與掃描采樣頭的管道：包括取樣管道與吹掃管道。

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