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河南順博熱處理設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)S-1700S-CVD
品 牌
廠商性質(zhì)其他
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更新時(shí)間:2023-03-16 12:30:02瀏覽次數(shù):401次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線CVD浮子混氣系統(tǒng)適用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長(zhǎng)薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等,也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用
功能特點(diǎn):
1、高真空系統(tǒng)由雙級(jí)旋片真空泵和分子泵組成,真空可達(dá)0.0001Pa;
2、可配合壓強(qiáng)控制儀控制氣體壓力實(shí)現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制;
3、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì),流量顯示儀等組成,實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測(cè)量和控制;每條氣體管路均配備高壓逆止閥,保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性。
4、采用KF快速法蘭密封,裝卸方便快捷;管路采用世界Swagelok卡套連接,不漏氣;
5、超溫、過(guò)壓時(shí),自動(dòng)切斷加熱電源及流量計(jì)進(jìn)氣,使用安全可靠。
產(chǎn)品用途:
適用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長(zhǎng)薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復(fù)合薄膜等,也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用
產(chǎn)品參數(shù)
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