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等離子清洗機 YSP63FA 實驗室等離子清洗機返回列表頁

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更新時間：2023-06-09 09:02:30瀏覽次數(shù)：309次

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產(chǎn)品分類品牌分類

真空型

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產(chǎn)品簡介

技術(shù)應用鏈接:●操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒

詳情介紹

技術(shù)應用鏈接:

● 操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
● 軟性基板也可以進行傳送操作。
● 傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。
● 可通過網(wǎng)絡進行遠程操作（選購品）。

未找到相應參數(shù)組，請于后臺屬性模板中添加

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評價時間	類別	詳細內(nèi)容	評價者	IP地址

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型號	YSP63FA
模式	RIE（DP模式選購）
高頻輸功率	600W
反應臺尺寸	W385×D362mm
內(nèi)腔尺寸	W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸）
反應氣體	2進氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）
反應氣體流量控制	質(zhì)量流量控制器
真空泵	旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min）
氣體導入口	反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個
外形尺寸	W1860×D1100×H1800mm

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