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北京亞科晨旭科技有限公司等）

EVG GEMINI FB晶圓鍵合系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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更新時(shí)間：2024-04-27 07:26:34瀏覽次數(shù)：356次

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EVG GEMINI FB是一款全自動(dòng)具備高精度對(duì)準(zhǔn)和熔融鍵合的工藝平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)了高程度的集成度和自動(dòng)化，主要應(yīng)用于存儲(chǔ)器堆疊、BSI圖像傳感器、SoC等領(lǐng)域的大型量產(chǎn)。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

EVG GEMINI FB是一款全自動(dòng)具備高精度對(duì)準(zhǔn)和熔融鍵合的工藝平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)了高程度的集成度和自動(dòng)化，主要應(yīng)用于存儲(chǔ)器堆疊、BSI圖像傳感器、SoC等領(lǐng)域的大型量產(chǎn)。

 

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·支持12英寸（300mm）晶圓

·最多配置6個(gè)預(yù)處理模塊，例如清洗模塊、低溫等離子處理模塊、對(duì)準(zhǔn)驗(yàn)證模塊、解鍵合模塊等。

·采用SmartView NT3對(duì)準(zhǔn)技術(shù)，對(duì)準(zhǔn)精度＜50nm

EVG 501晶圓鍵合系統(tǒng)

EVG 501是一款靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)，支持例如陽極鍵合、熱壓鍵合、漿

EVG 510晶圓鍵合系統(tǒng)

EVG 510是一款靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)，支持例如陽極鍵合、熱壓鍵合、漿

EVG ComBond晶圓鍵合系統(tǒng)

EVG ComBond是一款自動(dòng)的高真空晶圓鍵合系統(tǒng)，應(yīng)用領(lǐng)域包括功率

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