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北京亞科晨旭科技有限公司等）

EVG IQ Aligner光刻系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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更新時(shí)間：2024-04-27 07:22:50瀏覽次數(shù)：195次

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EVG IQ Aligner是一款高自動(dòng)化的光刻工藝平臺(tái)，可集成多種高精度對(duì)準(zhǔn)技術(shù)可對(duì)應(yīng)在晶圓及多種基板上的應(yīng)用，適用于大型生產(chǎn)線。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

EVG IQ Aligner是一款高自動(dòng)化的光刻工藝平臺(tái)，可集成多種高精度對(duì)準(zhǔn)技術(shù)可對(duì)應(yīng)在晶圓及多種基板上的應(yīng)用，適用于大型生產(chǎn)線。

 

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·支持8英寸（200mm）晶圓

·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理

·全自動(dòng)頂部及底部對(duì)準(zhǔn)：

頂部對(duì)準(zhǔn)精度≤±0.5μm

底部對(duì)準(zhǔn)精度≤±1μm

·支持Casettes, SMIF或FOUP上料

·可選配功能：

紅外對(duì)準(zhǔn)（透射或反射）

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