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EVG 610(NIL)納米壓印系統(tǒng)

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

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更新時間:2024-04-27 07:19:20瀏覽次數(shù):616次

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EVG 610(NIL)是一款基于EVG610光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備,可針對壓印、光刻、對準(zhǔn)功能進(jìn)行快速轉(zhuǎn)換。

產(chǎn)品簡介:

EVG 610(NIL)是一款基于EVG610光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備,可針對壓印、光刻、對準(zhǔn)功能進(jìn)行快速轉(zhuǎn)換。

 

主要特點及參數(shù):

·支持6英寸(150mm)晶圓

·分辨率可達(dá)40nm(取決于模版和工藝條件)

·支持汞燈或的UV-LED光源

·可選配功能:

鍵合對準(zhǔn)

紅外對準(zhǔn)

納米壓印光刻(NIL)

微接觸印刷

EVG 610(NIL)納米壓印系統(tǒng)

EVG 610(NIL)是一款基于EVG610光刻機(jī)的紫外納米壓印設(shè)備

EVG 620NT(NIL)納米壓印系統(tǒng)

主要特點及參數(shù):

EVG 720納米壓印系統(tǒng)

EVG720是一款全自動化的紫外納米壓印設(shè)備,能在大面積、高產(chǎn)量、低成

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