【產(chǎn)品簡介】
centrotherm c.OXIDATOR 150是一種高溫爐，是商先創(chuàng)公司熱解決方案為碳化硅（SiC）的氧化專門設(shè)計的。
工藝溫度高達(dá)1500℃，可使用氧氣（O2）、一氧化二氮（N2O）、氧化氮（NO）、二氧化氮（NO2）或濕法進(jìn)行氧化，從而使靈活性與業(yè)經(jīng)證明的工藝質(zhì)量地結(jié)合。擁有無金屬加熱與雙真空裝備，c.OXIDATOR 150目前是市場上的可用有毒氣體的氧化爐。
【適用工藝】
·氧化
【產(chǎn)品優(yōu)點】
·2英寸、3英寸、4英寸與6英寸晶圓或任何組合的批量加工
·加熱速度達(dá)到7.5度/分鐘
·批量多達(dá)50片（150毫米）晶圓
·加工壓力范圍從850毫巴到大氣壓
環(huán)保在線