【產(chǎn)品簡介】
布魯克公司的新型 Dektak XTL ™探針式輪廓儀系統(tǒng)可容納多達(dá) 350 毫米 x350 毫米的樣品，將優(yōu)異的重復(fù)性應(yīng)用到大尺寸晶片及面板制造業(yè)。Dektak XTL 集成氣體隔震裝置和方便的交互鎖裝置使儀器在全封閉工作環(huán)境下運(yùn)行，可應(yīng)對復(fù)雜的生產(chǎn)環(huán)境。它的雙攝像頭設(shè)置和高水平自動化功能可限度提高生產(chǎn)量。布魯克公司*的具有圖形識別功能的 Vision64® 軟件以及自動化生產(chǎn)接口，可滿足 IC 級用戶需求，使數(shù)據(jù)采集成為一個自動化的過程，限度地降低操作員的變化帶來的影響。
【主要應(yīng)用】
1、 主要用于膜厚、應(yīng)力、表面粗糙度和表面形貌的測量，實(shí)現(xiàn)納米尺度的表面輪廓測量；
2、 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、MEMS、金屬鍍層、油漆鍍層、玻璃鍍膜、太陽能、LED、觸摸屏、醫(yī)療等領(lǐng)域。
【主要參數(shù)】
垂直量程 | 1mm |
垂直分辨率 | 0.1nm |
單次掃描長度 | 55mm ( 300mm) |
樣品高度 | 50mm |
樣品臺尺寸 | 300mmX300mm （自動） 350mmX350mm（自動） |
樣品臺旋轉(zhuǎn) | 兩點(diǎn)定位 360 度連續(xù)旋轉(zhuǎn) |
臺階測試精度 | <4?( 1sigma on 1μm step) |
觀察系統(tǒng) | 雙鏡頭設(shè)置 |
環(huán)保在線