日本大冢電子(Otsuka)推出的MINUK光波動場三次元顯微鏡是一種先進的測量設備,它能夠對納米級透明異物和缺陷進行精確的測量和評價。該設備的一個顯著特點是其非破壞性、非接觸性、非侵入性的測量方式,這使得它在需要保持樣品完整性的應用中非常有用
。MINUK能夠在單次采樣中迅速獲取深度方向的信息,無需對焦即可進行高速測量
。
MINUK的技術核心在于其光波動場技術,它允許設備在單次測量中獲取所有深度信息,與傳統(tǒng)顯微鏡相比,這大大縮短了測量時間
。此外,MINUK的測量范圍廣泛,能夠處理從透明薄膜到半導體晶圓等多種樣品
。該設備還能夠在不染色的情況下直接觀察細胞等透明物質,這為生物醫(yī)學研究提供了便利
。
MINUK的操作簡便,用戶可以通過軟件在測量后任意聚焦于想要觀察的深度表面,這為分析提供了極大的靈活性
。此外,設備還具備高速掃描能力,可以在任意面上進行測量,輕松決定測量位置
。MINUK的這些特點使其在材料科學、半導體制造、生物醫(yī)學研究等領域中有著廣泛的應用前景。