日本大冢電子(Otsuka)的Smart膜厚儀是一款手持式、高精度的測量設備，專為現(xiàn)場使用而設計。該設備能夠測量0.1μm單位的膜厚，并且具有非破壞性的測量能力，適用于具有形狀的樣品。此外，Smart膜厚儀不受基材材質(zhì)的限制，可以測量其鍍膜。
 

　　Smart膜厚儀的測量原理基于反射分光法(光干涉法)，這是一種非破壞性測量方法。該設備的膜厚測量范圍為1μm至50μm，顯示上限為60μm，重復精度達到2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm)。測量時間極短，僅需1秒內(nèi)，且測量層數(shù)為1層。數(shù)據(jù)輸出可以通過附屬操作屏幕顯示或以USB輸出Excel檔案，測量點大小為Φ1mm以下，重量約為1.1kg。
 

　　該設備還提供了筆型探頭選配，能夠測量狹窄區(qū)域或形狀的樣品，探頭Φ6mm。此外，還有非接觸式載臺選配，對于濕膜或半導體晶圓等不想接觸的樣品，可以通過自由設定探頭位置進行非接觸測量。這些特點使得Smart膜厚儀在產(chǎn)品開發(fā)、產(chǎn)線設定、質(zhì)量管理以及售后服務等多個領域都有廣泛的應用場景。