日本Otsuka顯微分光測(cè)厚儀OPTM系列是一款高精度測(cè)量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域。該設(shè)備通過(guò)顯微分光技術(shù)實(shí)現(xiàn)高精度膜厚和光學(xué)常數(shù)測(cè)試，具備快速測(cè)量、安全結(jié)構(gòu)及個(gè)性化定制等功能。OPTM系列顯微分光膜厚儀能夠測(cè)量絕對(duì)反射率、多層膜厚、折射率和消光系數(shù)，納米級(jí)測(cè)量，精度高。該設(shè)備采用分光干涉法，可進(jìn)行非破壞性和非接觸式厚度測(cè)量，測(cè)量速度可達(dá)1秒/點(diǎn)。
 

　　OPTM系列的技術(shù)特點(diǎn)包括非接觸、非破壞式測(cè)量，量測(cè)頭可自由集成在客戶系統(tǒng)內(nèi)，高精度、高再現(xiàn)性量測(cè)紫外到近紅外波段內(nèi)的絕對(duì)反射率，可分析多層薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)(n：折射率、k：消光系數(shù))。單點(diǎn)對(duì)焦加量測(cè)在1秒內(nèi)完成，顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)(紫外 ~ 近紅外)，獨(dú)立測(cè)試頭對(duì)應(yīng)各種inline定制化需求，最小對(duì)應(yīng)spot約3μm。
 

　　此外，OPTM系列還具有技術(shù)，如反射對(duì)物鏡，可物理性去除透明基板的里面反射，實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)定。3微米微區(qū)測(cè)量功能，通過(guò)軟件同時(shí)顯示樣品畫面和測(cè)定光采取部位，可很好確認(rèn)到測(cè)定點(diǎn)。自動(dòng)高精度mapping樣品臺(tái)，標(biāo)配XY自動(dòng)平臺(tái)，僅需輸入坐標(biāo)即可自動(dòng)多點(diǎn)檢測(cè)大面積樣品，實(shí)時(shí)獲取厚度分布圖。