在半導(dǎo)體制造和納米技術(shù)領(lǐng)域，對材料的純凈度有要求。微量金屬污染物的存在可能會嚴(yán)重影響產(chǎn)品的性能和可靠性。為此，日本Nasgiken公司推出了SC-9200微量金屬污染物回收器，專為硅晶片表面和側(cè)面的微量金屬污染物收集而設(shè)計(jì)，以提高分析效率和準(zhǔn)確性。
設(shè)備功能
SC-9200微量金屬污染物回收器能夠收集附著在硅晶片表面和側(cè)面的微量金屬污染物，非常適合每天分析5至10個晶圓的需求。該設(shè)備具備自動清洗盛裝收集液體的容器的功能，降低人為污染的風(fēng)險，并減少工作人員之間分析準(zhǔn)確性的差異。此外，該設(shè)備還取得了晶圓側(cè)面斜面復(fù)原以及晶圓表面親水性恢復(fù)技術(shù)。
技術(shù)規(guī)格
根據(jù)Nasgiken的信息，SC-9200的操作控制可以通過電腦完成，支架具的裝卸、采樣液的供給和回收均能自動進(jìn)行，從而減少操作員引起的污染。設(shè)備外形尺寸為690×550×790mm，重量為55Kg，所需外部資源包括電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源。
應(yīng)用場景
SC-9200微量金屬污染物回收器主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中，對硅晶片進(jìn)行表面和側(cè)面的微量金屬污染物分析。該設(shè)備適用于需要高精度和高效率分析的環(huán)境，如半導(dǎo)體制造廠、材料研究機(jī)構(gòu)等。
結(jié)論
Nasgiken SC-9200微量金屬污染物回收器以其高效的污染物收集能力、自動化操作和技術(shù)，為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域提供了一種創(chuàng)新的解決方案。通過減少人為污染和提高分析準(zhǔn)確性，SC-9200有助于提高半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。
