SGC-10薄膜測厚儀，適用于介質(zhì)，半導體，薄膜濾光片和液晶等薄膜和涂層的厚度測量。該薄膜測厚儀，是我公司與美國new-span公司*的薄膜測厚技術，基于白光干涉的原理來測定薄膜的厚度和光學常數(shù)（折射率k）。通過分析薄膜表面的反射光和薄膜與基底界面的反射光相干形成的反射譜，用軟件來擬合運算，得到單層或多層膜系各層的厚度n，消光系數(shù)強大的軟件功能：

該儀器適用于多種介質(zhì)，半導體，薄膜濾光片和液晶等薄膜和涂層的厚度測量。

典型的薄膜材料為：

SiGe、GaAs、ZnS、ZnSe、鋁丙烯酸、藍寶石、玻璃、聚碳酸酯、聚合物、石英。

技術指標：

名稱

參數(shù)

厚度范圍

20nm-50um（只測膜厚），

100nm-10um（同時測量膜厚和光學常數(shù)n，k）

根據(jù)薄膜材料的種類，其范圍有所不同。

準確性

<1nm或<0.5%

重復性

0.1nm

波長范圍

380nm-1000nm

可測層數(shù)

1-4層

樣品尺寸

樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm

測量速度

5s-60s

光斑直徑

1.2mm-10mm可調(diào)

樣品臺

290mm*160mm

光源

長壽命溴鎢燈（2000h）

光纖

純石英寬光譜光纖

探測器

進口光纖光譜儀

電源

AC100V-240V，50HZ-60HZ

重量

18kg

尺寸

300mm*300mm*350mm