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NanoFocus三維形貌輪廓儀

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更新時(shí)間:2021-11-15 15:45:44瀏覽次數(shù):271次

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簡要描述:μsurf系列三維形貌輪廓儀采用多孔共聚焦技術(shù),結(jié)合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞,再將物鏡垂直移動(dòng),以類似斷層攝影方式,可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)精確量測物體的三維數(shù)據(jù)。其測量方式是非接觸式,不會(huì)破壞樣品的表面,不需要在真空環(huán)境下測量,也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本,其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下,也能正常使用。
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NanoFocus μsurf系列三維形貌輪廓儀采用多孔共聚焦技術(shù),結(jié)合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞,再將物鏡垂直移動(dòng),以類似斷層攝影方式,可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)精確量測物體的三維數(shù)據(jù)。其測量方式是非接觸式,不會(huì)破壞樣品的表面,不需要在真空環(huán)境下測量,也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本,其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在測量漸變較大的高度時(shí),跟其他方法相比,可以更精確量測物體高度,建立3D立體影像,優(yōu)勢相當(dāng)明顯。

μsurf系列三維形貌輪廓儀應(yīng)用
μsurf系列用來測量表面物理形貌,進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
精密部件:檢測對表面磨損,表面粗糙度,表面微結(jié)構(gòu)有要求的零部件,比如發(fā)動(dòng)機(jī)汽缸、刀口等;

生命科學(xué):測量stents支架上鍍層厚度等
微電子機(jī)械系統(tǒng):微型器件的檢測,醫(yī)藥工程中組織結(jié)構(gòu)的檢測,如基因芯片等
半導(dǎo)體:檢測微型電子系統(tǒng),封裝及輔助產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
太陽能:太陽能電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測量,制絨后3D形貌表征(單晶金字塔大小、數(shù)量、角度,多晶腐蝕坑形貌、密度),粗糙度分析等
紙張:紙張、錢幣表面三維形貌測量
LED:用于藍(lán)寶石襯底的測量,抽檢PSS ICP后的WAFER的3D形貌

μsurf系列技術(shù)參數(shù)

LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
測量時(shí)間:2~10秒
測量原理:非接觸、共聚焦
X/Y方向:平臺(tái)移動(dòng)范圍:100mmX100mm/200mmX200mm/300mmX300mm(大小可選),馬達(dá)驅(qū)動(dòng),X/Y方向分辨率:0.3μm
Z方向測量范圍:350μm,Z方向分辨率:< 1nm
物鏡:10X、20X、50X、100X(可選)
離軸攝像頭(10X),zui大視野8 x 6 mm2(選配)
計(jì)算機(jī):高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),功能強(qiáng)大且全面的軟件,有拼接功能
配有專業(yè)工作臺(tái):尺寸1550x800x750 mm (LxH)
工作電源:100-240V, 50-60Hz,input: 550 VA
材質(zhì):鋼鐵、橡膠、大理石
重量:約150KG+80KG
潔凈室等級: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)

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