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測量范圍	1MPa

日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500

AP250和AP500是適用于半導(dǎo)體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器，由氣壓控制單元（相當(dāng)于AP100N）和圓頂型調(diào)節(jié)器單元組成。

　此外，外部安裝有壓力傳感器，來自傳感器的信號(hào)輸入到氣壓控制單元，氣壓控制組的閥被開/關(guān)控制，以調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)器中球罩的內(nèi)部壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)以匹配任何設(shè)定的壓力值。通過將流量傳感器安裝到外部，它也可以用作流量控制器。

　AP250的控制流量為5001 / min，AP500的控制流量為2000L / min，兩種類型的控制壓力約為600kPa。

　壓力接頭與適用于AP250的1/2“ VCR和適用于AP500的3/4” SWAG等效或等同于用于AP500的3/4“ VCR等效。適用于真空清潔氣體，用于導(dǎo)體，惰性氣體，腐蝕性氣體，危險(xiǎn)氣體等可以使用。

日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500

規(guī)格

模型	AP250	AP500
主要用途	對(duì)于FPD，燃料電池	對(duì)于FPD，燃料電池
目標(biāo)氣體	N2，空氣，H2等	N2，空氣，H2等
入口壓力	999kPa以下	999kPa以下
耐壓	小于1500kPa	小于1500kPa
壓力設(shè)定	用顯示設(shè)定裝置設(shè)定	用顯示設(shè)定裝置設(shè)定
控制方式	圓頂內(nèi)部的氣動(dòng)控制	圓頂內(nèi)部的氣動(dòng)控制
控制壓力	0-500kPa	0-500kPa
流量	500L /分鐘	2000L /分鐘
響應(yīng)時(shí)間	1秒鐘達(dá)到設(shè)定值	1秒鐘達(dá)到設(shè)定值
輸入信號(hào)	0-5 VDC連續(xù)/關(guān)閉	0-5 VDC連續(xù)/關(guān)閉
輸入信號(hào)	RS485	RS485
外部傳感器輸入	（4至20mA標(biāo)準(zhǔn)）	（4至20mA標(biāo)準(zhǔn)）
輸出信號(hào)	報(bào)警輸出，RS485	報(bào)警輸出，RS485
管件	相當(dāng)于1/2英寸的VCR或相當(dāng)于1/2英寸的世偉洛克	相當(dāng)于3/4英寸的VCR或相當(dāng)于3/4英寸的世偉洛克
閥座泄漏	10-5Pa ? m3 /秒以下	10-5Pa ? m3 /秒以下
準(zhǔn)確性	取決于壓力傳感器的規(guī)格	取決于壓力傳感器的規(guī)格
電源電壓	24VDC±10％	24VDC±10％
目前的消費(fèi)	200mA以下	200mA以下
工作溫度	0-50℃無凝結(jié)	0-50℃無凝結(jié)
面之間的外部尺寸	寬70×深145×高124mm	寬80×深178×高170mm
壓力傳感器	無（外部）	無（外部）
顯示設(shè)定裝置	是（可以單獨(dú)安裝）	是（可以單獨(dú)安裝）