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秋山科技(東莞)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第6年

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大米相關(guān)設(shè)備儀器
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超高溫臺(tái)式多氣氛實(shí)驗(yàn)爐TE系列的特點(diǎn)

時(shí)間:2023/3/24閱讀:785
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超高溫臺(tái)式多氣氛實(shí)驗(yàn)爐TE系列的特點(diǎn)

超高溫臺(tái)式多氣氛實(shí)驗(yàn)爐[熱邊]最高2000°C

這是一款臺(tái)式超高溫多氣氛實(shí)驗(yàn)爐,可處理氮?dú)?、氧氣、氦氣、氬氣、氫氣等各種氣氛。

C/C復(fù)合加熱器

最高2000°C

碳化硅3涂層加熱器

最高1600°C

TiC3涂層加熱器

最高2100°C





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TE系列超高溫臺(tái)式多氣氛實(shí)驗(yàn)爐“熱邊"電爐從抽真空、吹掃到排氣的操作是PLC半自動(dòng)式的。 沒有手動(dòng)打開和關(guān)閉閥門等復(fù)雜操作,并且可以通過觸摸面板進(jìn)行集中管理。

臺(tái)式緊湊,您可以有效利用實(shí)驗(yàn)室的有限空間。

特征

三種類型的爐子加熱器/絕緣材料擴(kuò)大了碳爐的應(yīng)用范圍。

  • C/C復(fù)合加熱器

  • SiC3(碳化硅)涂層加熱器

  • TiC3(碳化鈦)涂層加熱器

多功能功能集成在緊湊的機(jī)身中

  • 節(jié)省空間:889(闊)x 503(深)x 629(高)mm

  • 圓柱形加熱器(用于坩堝)、平面加熱器(用于晶圓燒制)

  • 聯(lián)鎖(冷卻水、腔室表面溫度/加熱器過溫、真空度、腔室打開/關(guān)閉)

  • PLC半自動(dòng)操作:(抽真空/吹掃x 3循環(huán)排氣)

  • 觀察視口(可選)

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編程溫度控制器、觸摸屏 HMI、數(shù)字真空計(jì)和加熱器斷路器軟件等顯示器緊湊地安裝在前操作面板上。
● 溫度控制器:Eurotherm“nanodaq"或RKC PF900 ● 數(shù)字真空計(jì):MKS微型皮拉尼壓力計(jì)
● 觸摸屏:西門子SIMATEC HMI(或三菱)

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