低溫等離子廢氣凈化器一階段：廢氣激發(fā)，解離和激活。 當(dāng)施加的電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí)，氣體被分解以產(chǎn)生電子，離子，原子和自由基的混合物，并且發(fā)生高能粒子與氣體分子（原子）之間的非彈性碰撞。 將發(fā)生一系列過程，例如喚醒，解離，電離等，以將能量轉(zhuǎn)化為在低溫下激活氣體的土壤狀態(tài)分子（原子）的內(nèi)部能量。

二階段：活化廢氣的催化氧化和分解。 用高能量照射稀有金屬氧化物，并且活化的廢氣在金屬氧化物的表面上被氧化。 在產(chǎn)生水和二氧化碳時(shí)，廢氣中的氧與廢氣反應(yīng)，并且廢氣被凈化。

電子先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離，從而成為活性基團(tuán)；之后這些活性基團(tuán)與分子或原子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強(qiáng)的物質(zhì)俘獲，成為負(fù)離子。這類負(fù)離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。

低溫等離子廢氣凈化器主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質(zhì)齒板放電裝置，頂部放電形式產(chǎn)生高濃度離子。等離子體是一種聚集態(tài)物質(zhì)，其所擁有的電子能在毫秒級(jí)的時(shí)間內(nèi)，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發(fā)生一系列分化裂解反應(yīng)，產(chǎn)生高濃度、高強(qiáng)度的活性自由基和各種電子、離子等，在與機(jī)廢氣中的分子碰撞時(shí)會(huì)發(fā)生一系列基元物化反應(yīng)，并在反應(yīng)過程中產(chǎn)生多種活性自由基和生態(tài)氧，即臭氧分解而產(chǎn)生的原子氧。