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四方光電（武漢）儀器有限公司
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當(dāng)前位置：四方光電（武漢）儀器有限公司>>氣體傳感器>> Gasboard-2061紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號Gasboard-2061

品       牌四方儀器

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

產(chǎn)品資料查看pdf文檔

所  在  地武漢市

更新時間：2025-05-27 10:53:19瀏覽次數(shù)：238次

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輸出信號 其他 線性度 ±1%F.S
制作工藝 其他 重復(fù)性 ±0.5%F.S
檢測原理 NDIR 檢測氣體 WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程 1~264ppm(0~200mTorr)
紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝


產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器

產(chǎn)品型號：Gasboard-2061


紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。


紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

（1）使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

（2）響應(yīng)時間快，高靈敏度

（3）無耗材

（4）模擬/數(shù)字通信

（5）模塊化設(shè)計，便于集成


紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)


檢測原理NDIR
檢測氣體WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復(fù)性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測限1ppm








應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測

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