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CVD真空氣氛管式爐

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產(chǎn)品型號CVD（D）-06/60/3

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所在地合肥市

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更新時間：2022-07-12 14:53:44瀏覽次數(shù)：3506次

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合肥日新高溫技術有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：18條

所在地區(qū)：安徽合肥市

聯(lián)系人：張先生

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產(chǎn)品簡介

CVD管式電阻爐廣泛適用于高、中、低溫CVD工藝，碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結構的可控生長、金屬材料的擴展焊接以及真空或保護氣氛下熱處理. CVD系列真空氣氛管式爐專門設計用于高溫材料沉積之用。是理想的科研設備。

詳細介紹

應用領域： CVD管式爐廣泛適用于高、中、低溫CVD工藝，例如：碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結構的可控生長等等；也可適用于金屬材料的擴展焊接以及真空或保護氣氛下熱處理.

產(chǎn)品特點： CVD管式爐專門設計用于高溫材料沉積之用。硅鉬棒加熱、剛玉爐管爐膛, 可預抽真空,便于通入?yún)⒓臃磻臍怏w, CVD管式爐進口單回路智能溫度控制儀控制、溫區(qū)設計隔板結構。具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、溫區(qū)間溫度擾動小、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長等特點，是理想的科研設備。

設備型號	CVD（D）-06/60/3		CVD（Z）-06/30/1	CVD（G）-07/50/2	CVD（G）-09/50/1
zui高溫度	1050℃		1300℃	1650℃/1000℃	1650℃
使用溫度	RT—1000℃		850-1300℃	1000-1600℃	1000-1600℃
控制精度	±1.5℃		±1.5℃	±1.5℃	±1.5℃
溫區(qū)個數(shù)	3個		1個	2個	1個
加熱區(qū)長度	600mm		300mm	500mm（300mm/200mm）	500mm
爐管尺寸	ф60（外徑）×1400（mm）		ф60（外徑）×1000（mm）	ф70（外徑）×1450（mm）	ф90（外徑）×1450（mm）
爐管材料	石英管		剛玉管	剛玉管	剛玉管
發(fā)熱元件	進口電阻絲		電阻絲/硅碳棒	硅鉬棒、電阻絲	硅鉬棒
zui大裝機功率	4.5KW		3kw/8kw	10kw	12kw
CVD-□□□ 選件功能	/□	/□
	V		真空系列：單級機械泵+擴散泵機組
		Q	氣氛系統(tǒng)：浮子流量計；進口/國產(chǎn)質(zhì)量流量計