旋片式真空泵裝有滑片的偏置轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)作回轉(zhuǎn)運動，使由滑片分隔的泵腔工作室容積周期性變化以實現(xiàn)抽氣的真空泵，又稱滑片真空泵。旋片式真空泵的工作原理，它主要由泵體（靜子）和轉(zhuǎn)子組成。在轉(zhuǎn)子槽中裝有兩塊以上的滑片，有些泵滑片間還裝有彈簧。轉(zhuǎn)子偏心地裝在泵腔內(nèi)，其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2～3微米。轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，在離心力等作用下，滑片沿槽作往復滑動并與泵腔內(nèi)壁始終保持接觸，將泵腔分成兩個或幾個可變?nèi)莘e的工作室。轉(zhuǎn)子順時針方向旋轉(zhuǎn)時，與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大，腔內(nèi)氣體壓力降低，被抽氣體便從吸氣口*地吸入。同時，與排氣口相通的排氣腔容積由大變小，吸入腔內(nèi)的氣體被壓縮，待氣體壓力高于大氣壓力時，推開排氣閥排出大氣。轉(zhuǎn)子連續(xù)轉(zhuǎn)動，泵便不斷抽氣。
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