影響三氯化鐵蝕刻速度的因素

【資料簡(jiǎn)介】

影響蝕刻速率因素
蝕刻液中的三價(jià)鐵的濃度和蝕刻液的溫度有很大的關(guān)聯(lián)。

蝕刻液溫度越高，蝕刻速度也就越快，溫度的選擇應(yīng)以不損壞抗蝕層為原則。

三氯化鐵里面的三價(jià)鐵的濃度對(duì)蝕刻數(shù)率有很大的影響，蝕刻液中的三價(jià)鐵濃度逐漸增加，對(duì)銅的蝕刻速率相應(yīng)加快，當(dāng)所含三價(jià)鐵超過(guò)其一濃度時(shí)，由于溶液粘度增加，蝕刻速率反有所降低。