HY85/KDY-1四探針電阻率/方阻測試儀詳細資料

【資料簡介】

　　用來測量半導體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架及四探針頭組成。
　　
　　本儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉換，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機配有恒流源開關，在測量某些箔層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器，測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來很大方便。
　　
　　2、主機技術能數(shù)
　　
　?。?）測量范圍：
　　
　　可測電阻率：0.0001～19000Ω•cm
　　
　　可測方塊電阻：0.001～1900Ω•□
　　
　?。?）恒流源：
　　
　　輸出電流：DC0.001～100mA五檔連續(xù)可調(diào)
　　
　　量程：0.001～0.01mA
　　
　　0.01～0.10mA
　　
　　0.10～1.0mA
　　
　　1.0～10mA
　　
　　10～100mA
　　
　　恒流精度：各檔均低于±0.05%
　　
　　（3）直流數(shù)字電壓表：
　　
　　測量范圍：0～199.99mV
　　
　　靈敏度：10μV
　　
　　基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
　　
　　輸出電源：≥1000ΩM
　　
　?。?）供電電源：
　　
　　AC220V±10%50/60Hz功率：12W
　　
　?。?）使用環(huán)境：
　　
　　溫度：23±2℃相對濕度：≤65%
　　
　　無較強的電場干擾，無強光直接照射
　　
　　（6）重量、體積：
　　
　　主機重量：7.5kg
　　
　　體積：365×380×160（單位：mm長度×寬度×高度）
　　
　　備注：
　　
　　等級測量時（測電阻率），精度<3%
　　
　　電氣測量時（測電阻），精度在0.3%以內(nèi)