HO14/KDY-1四探針電阻率/方阻測(cè)試儀技術(shù)資料

【資料簡(jiǎn)介】

用來測(cè)量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份（簡(jiǎn)稱：主機(jī)）、測(cè)試架及四探針頭組成。

本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測(cè)量電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表（以萬(wàn)分之幾的精度）適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化，免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān)，在測(cè)量某些箔層材料時(shí)，可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器，測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋。給測(cè)量帶來很大方便。

2、主機(jī)技術(shù)能數(shù)

（1）測(cè)量范圍：

可測(cè)電阻率：0.0001～19000Ω•cm

可測(cè)方塊電阻：0.001～1900Ω•□

（2）恒流源：

輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)

量程：0.001～0.01mA

0.01～0.10mA

0.10～1.0mA

1.0～10mA

10～100mA

恒流精度：各檔均低于±0.05%

（3）直流數(shù)字電壓表：

測(cè)量范圍：0～199.99mV

靈敏度：10μV

基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）

輸出電源：≥1000ΩM

（4）供電電源：

AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W

（5）使用環(huán)境：

溫度：23±2℃ 相對(duì)濕度：≤65%

無(wú)較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾，無(wú)強(qiáng)光直接照射

（6）重量、體積：

主機(jī)重量：7.5kg

體積：365×380×160（單位：mm 長(zhǎng)度×寬度×高度）

可測(cè)電阻率：0.0001～ 10000Ω•cm，

探針材質(zhì)：碳化鎢，

功率≤35W，帶測(cè)試架，電壓量程0-199.9mV，

電流量程：10µA，100µA，1mA,10mA,100mA五檔

恒流源精度：各檔≤0.5%

功率≤35W，帶測(cè)試架，電壓量程0-199.9mV，

電流量程：10µA，100µA，1mA,10mA,100mA五檔
恒流源精度：各檔≤0.5%