靜電對電子產(chǎn)品生產(chǎn)的影響

【資料簡介】

靜電對電子產(chǎn)品生產(chǎn)的影響

近半個世紀(jì)以來ESD在工業(yè)部門所造成的著火、爆炸等事故。僅美國電子工業(yè)每年因靜電造成的損失達(dá)幾百億美圓，因此，ESD防護(hù)對于減少損失、提高產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率具有非常重要意義。

一、靜電對電子產(chǎn)品生產(chǎn)的影響主要有兩個方面：

（1）靜電造成的污染

靜電會把污染物的微小顆粒吸引到半導(dǎo)體晶片的表面，使電子器件例如微處理器的運作以及它所控制的設(shè)備出現(xiàn)問題。在凈化室中處理材料時，也會由于靜電產(chǎn)生問題。

潔凈室是指有HEPA過濾系統(tǒng)的工作環(huán)境。HEPA過濾系統(tǒng)能夠濾去進(jìn)入

潔凈室的空氣中的微小顆粒。但是，潔凈室并不是潔凈。因為在潔凈室外中有人員、機(jī)器、儀器和各種設(shè)備，都會使?jié)崈羰沂艿轿廴?。潔凈室中常常使用的塑料、石英、陶瓷、玻璃、硅都是很好的絕緣體，容易累積靜電荷。人員、機(jī)器、儀器和設(shè)備都可能把微小的顆粒帶入潔凈室。如果一個產(chǎn)品的硅片表面帶有電荷又沒有凈它消除；它的表面會吸引空氣中的微小顆粒，如果使這個產(chǎn)品變成廢品。研究表明，靜電是使直徑為0.1微米至1微米的顆粒沉積在晶片上的主要原因。這類污染是造成電子產(chǎn)品成品率下降的主要因素。

（2）靜電放電對器件的毀壞

在電子器件、線路板、子系統(tǒng)和系統(tǒng)的制造、安裝、運輸和測試過程中，靜電放電會損壞器件。例如，在濕度為10%時，把雙列直插器件從聚四苯乙烯海棉橡膠上取下來時產(chǎn)生的靜電電壓高達(dá)14500伏；在濕度為55%、溫度為24℃的環(huán)境中；人在地毯上行走十尺，人體上荷聚積的靜電可以達(dá)到5000伏，這樣高的電壓會在很短的時間內(nèi)將器件毀壞。因為MOS器件的擊穿電壓是100伏。

注：MOS是對金屬（Metal）--氧化物（Oxide）--半導(dǎo)體（Semiconductor））的簡稱，MOS結(jié)構(gòu)是由一層薄的氧化物介質(zhì)分隔的導(dǎo)體和半導(dǎo)體襯底組成的。

現(xiàn)在電路尺寸不斷地縮小，亞微米技術(shù)的應(yīng)用已是司空見慣。器件的尺寸縮小了，集成程度大幅度提高，一塊芯片上可以制造數(shù)以百萬只的晶體管。但是它們承受靜電放電的能力也大大地下降。靜電放電會使氧化物受到破壞而造成短路，降低成品率。