中科院“軟X射線干涉光刻分支線站的建設(shè)”通過驗(yàn)收

【資料簡介】

中科院“軟X射線干涉光刻分支線站的建設(shè)”通過驗(yàn)收
         2012年12月27日，*重大科技基礎(chǔ)設(shè)施維修改造項(xiàng)目“軟X射線干涉光刻分支線站的建設(shè)”驗(yàn)收會(huì)在中科院上海應(yīng)用物理研究所張江園區(qū)召開。會(huì)議由計(jì)劃財(cái)務(wù)局潘鋒副局長主持，來自復(fù)旦大學(xué)、中科院物理所、中科院化學(xué)所、蘇州大學(xué)、中國科技大學(xué)、中科院辦公廳、中科院檔案館、中科院計(jì)劃財(cái)務(wù)局、近代物理所、高能物理所等單位的11位專家組成審核專家組，復(fù)旦大學(xué)張新夷教授任組長。*計(jì)劃財(cái)務(wù)局、基礎(chǔ)科學(xué)局、大裝置辦公室的相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)出席了本次會(huì)議。
　　專家組聽取了項(xiàng)目負(fù)責(zé)人邰仁忠研究員所作的驗(yàn)收總結(jié)報(bào)告，由中科院物理所麥振洪研究員代表測(cè)試專家組宣讀工藝測(cè)試結(jié)果及測(cè)試專家意見，隨后進(jìn)行了現(xiàn)場考察，查看了工藝、檔案、財(cái)務(wù)和設(shè)備資料。經(jīng)過討論和答疑，驗(yàn)收專家一致認(rèn)為，項(xiàng)目各項(xiàng)工藝指標(biāo)均達(dá)到任務(wù)書中的驗(yàn)收指標(biāo)，部分優(yōu)于驗(yàn)收指標(biāo)；經(jīng)過近一年的試運(yùn)行，系統(tǒng)穩(wěn)定、可靠；項(xiàng)目完成了儀器設(shè)備建設(shè)任務(wù)，做到了賬物相符；項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)使用基本合理；項(xiàng)目文件材料收集齊全，簽字手續(xù)完備，案卷質(zhì)量符合規(guī)范，反映了項(xiàng)目建設(shè)的全過程。驗(yàn)收專家組一致同意通過驗(yàn)收。
　　“軟X射線干涉光刻（XIL）分支線站建設(shè)項(xiàng)目”是上海光源承擔(dān)的*大科學(xué)裝置維修改造項(xiàng)目。項(xiàng)目的主要任務(wù)是在上海光源軟X射線譜學(xué)顯微光束線站（BL08U-1A）的基礎(chǔ)上，建設(shè)XIL分支光束線和實(shí)驗(yàn)站，充分拓展主線站（BL08U-1A）的用途，建立大面積、高分辨的微、納加工技術(shù)。XIL與主線站結(jié)合，可以使納米結(jié)構(gòu)的制備、組裝和結(jié)構(gòu)表征、觀察在同一條光束線站上完成，為用戶提供一個(gè)研究納米材料和器件的一體化平臺(tái)。項(xiàng)目于2009年4月正式啟動(dòng)，至2011年底所有設(shè)備安裝在線調(diào)試完畢，2012年1月對(duì)用戶開放試運(yùn)行，2012年11月29日通過了院基礎(chǔ)局組織的工藝測(cè)試。